國產0.8微米工藝集成電路生產線,與其說是為了振興國家的電子產業,不如說是為了解決有無問題。
在沒有市場需求的前提下,僅憑借科研院所和國防工程的訂單,中科院微電子中心根本吃不飽。為了開發0.8微米工藝的技術,國家曆時三年時間投入了五個億的資金,才最終完成了整套設備的研發。但向國內供應的設備價格,最貴的光刻機也不過才百萬人民幣而已。
這條生產線不僅僅是需要解決光刻機的問題,像是等離子刻蝕、氣象沉澱設備,這些都是核心設備。此外像是擴散爐、離子源,挑片、舉片機,焊接機、鍍膜機、清洗機,一塊不起眼的集成電路如果想走下生產線,起碼要經過上百道工序,曆時十幾、幾十個小時不可。
這還隻是芯片生產的前道工序,若是再算上封裝、測試等後道工序,設備清單能再增加幾倍的長度。
這些哪怕全部都是國產設備,建設一條集成電路生產線,也至少需要十幾億人民幣。
在這樣高的投入和稀薄的產出麵前,中科院微電子中心的生意可想而知。哪怕是麵對他們認為“大言不慚”的泛翰研究院,隻要拿出真金白銀來,產品也一樣是照賣不誤。
從1995年上半年0.8微米工藝技術定型,實際上中科院微電子中心最大的買家,就是泛翰研究院。周碩前前後後下了三條生產線。價值將近一個億的訂單。結果搬空了微電子中心的倉庫,也不過才湊齊了一條半生產線而已。至於三條線全部配齊。起碼也要到1996年了。
但作為國家研究機構,微電子中心仍然是該賣設備賣設備,該罵你一樣罵你。沒辦法,誰叫人家是國內最權威的半導體研發機構。如果從級別上來看,說它是中國半導體學界的武林盟主也不為過……
當然哪怕隻是一條生產線,若是日本尼康的產品月產量也能達到三萬片。若是荷蘭阿斯麥的產品,月產量五萬片也毫無問題。但國內技術不論是良品率還是自動化程度,都遠遠不及這兩家。尤其是0.8微米工藝基礎上倉促改造而來的0.5微米工藝生產線。良品率更是在原本就不高的產量上跌了一大截。
“周桑,NAND閃存的生產相關工藝就是如此了。雖然你們的設備要比我們東芝的差一些,但完成生產流程是沒有問題的。”中村晴樹翻看了一下相關設備的參數設計,肯定的說道。
東芝雖然不怎麽看得上這樣的小生意,但多少秉持著日本人的謹慎性格,還是派來了一個靠譜的技術人員。在中村晴樹的指導下,集成電路設計方案直接使用了東芝的技術。掩膜、光刻和擴散、沉降等技術參數經過不斷的調試,也都已經準備就緒。
在中村晴樹認可之後,周碩也有些興奮的向光刻機前的麻友公點了點頭。
麻友公操作著設備,將已經拋光和清洗完畢的晶圓,放入到光刻機中。接下來的工作,就不再是需要人為幹預的了。
何況蜂巢實驗室作為泛翰研究院的核心實驗室。也不方便讓中村晴樹一個日本人呆太久,周碩連忙將他送了出去。
十三個小時之後,完成了八十三道工序的晶圓,經過最後一次清洗終於完成了它的加工曆程,安靜的躺在了實驗台上。
此時。蜂巢實驗室的十四位研究員全部聚集一堂,都圍攏在負責測試用的測頻儀前麵。就像CPU在出廠之前。需要先進行測試一樣。芯片在製造過程中,總是難免會出現各種各樣的問題,導致一些殘次品或者缺陷。這時候,就要通過測頻確定它們的質量。
有缺陷的芯片被製造成低頻的CPU,通過邏輯屏蔽掉一部分功能,作為低端產品進行出售。而沒有缺陷的CPU則以完整的功能,作為高端產品進行出售。所以才會有一些CPU產品通過開核,來獲得更好、但更不穩定的性能。
和CPU檢測一樣,NAND內存在封裝之前,也需要對其進行測試。不僅要獲得其具體的性能數據,也要通過產品的缺陷推導製造工藝存在的問題。
一張200mm的晶圓上,這時表麵上已經布滿了流光溢彩的花紋。這是通過氣象沉澱,附著在晶圓上麵的有色金屬。這張晶圓上麵密密麻麻的分布著30塊芯片所需要的集成電路,通過對它們的測試,將可以得到這條0.5微米工藝生產線運作的具體數據。
“合格,合格,不合格,合格,不合格……”
30塊芯片的集成電路,不斷的完成測試。每一次合格,都能激起周圍研究員們激動的歡呼,每一次不合格,也都能讓他們發出沮喪的歎息。
“一共是21塊合格的芯片,良品率70%。”麻友公有些疲憊的把頭從儀器前抬起來,如釋重負的說道。
70%的良品率,若是放在20年後,根本沒有盈利的可能。哪怕是在1995年,也仍然極大的落後於美、日晶圓廠的平均水平。但如果放在國內,和908工程或者其他的國企晶圓廠,這已經是非常了不起的進步了。當然,國內的晶圓廠本身運轉成本低,再加上產量稀少,倒也不愁賣。像是一些軍工方麵的晶圓廠,更是不用在乎經濟規律這種事情。哪怕30%的良品率,也一樣是用不完。
然而即使如此,周碩仍然失望的搖了搖頭說道:“70%的良品率這還是實驗室數據,大規模生產中還會進一步降低。若是使用國產線,初期能達到50%的良品率,就要阿彌陀佛了。”
麻友公點了點頭,無奈的說道:“這也是沒有辦法的事情,咱們國家不僅是設備和技術不行,生產管理上麵缺課也很嚴重。晶圓廠作為最接近實驗室環境的工廠,對工人的文化程度要求很高。沒有科學和嚴格的管理,大規模生產中良品率低下是必然情況。”
周碩皺了皺眉,說道:“咱們現在這一條生產線,50%的良品率再加上磨合期,月產能達到8000片恐怕就已經很值得欣慰了。”
他歎了口氣,點頭道:“就這麽先幹起來吧,萬丈高樓平地起,這個過程無論如何是免不了的。”
10月中旬,沉寂了半個月的泛翰研究院突然召開了記者發布會。這如同在平靜的湖麵上,扔進了一顆大石頭,頓時掀起一陣軒然大波。
發布會還沒有開始,這就已經在半導體行業內形成了新聞效應。對泛翰研究院將會如何證明自己的清白,業內人士也是眾說紛紜。
有說要公布技術細節的,有說要請德高望重老專家進行技術鑒定的,有的甚至說泛翰集團應該把技術無償提供給國家使用……
隻有極少數人,覺得泛翰研究院可以發布一款使用0.5微米工藝的芯片,這樣究竟有沒有掌握技術,自然一目了然、任何質疑也就都不攻自破。
但絕大多數人卻並不看好泛翰研究院能夠推出0.5微米工藝的芯片,每一次工藝的改進,對集成電路設計都是一次考驗。並非是把0.8微米條件下設計的集成電路,縮小線寬之後就能用在0.5微米工藝上麵。
這裏涉及到的電壓、磁場、效率等等條件,都要求工藝改變,設計就必須改變。而1995年國內或許能造出0.8微米工藝的芯片成產線,卻根本找不到0.5微米工藝的集成電路產品。這本來就是正常現象,一個國家連一條0.5微米工藝的生產線都沒有,又怎麽能培養的出來0.5微米集成電路的設計師呢?國內的高級IC設計,也是要等21世紀之後,在眾多海龜帶來的經驗幫助下才發展起來的。
周碩每每在想到國內的集成電路設計能力的時候,都要重重感歎一下日本人的奸詐。當然,在電子產業上,中國不光吃過日本人的虧,還吃過韓國人的虧、美國人的虧……
在曆史上,明年,也就是1996年中國動用舉國之力的909工程上馬。從日本NEC引進了0.5微米工藝芯片生產線,建成之後原本是準備自力更生生產內存的。一方麵當時內存市場上賣的好,另一方麵也是翻遍了國內竟然沒有一款0.5微米工藝的芯片設計可以用來生產。這時候也隻有工藝簡單、設計成熟的內存能頂上去了。
就在909工程建成,內存生產出來供應市場之後,國際內存市場竟然發生了價格大滑坡!華虹的內存生產線立刻就產生了極大的虧損,NEC這時候提出華虹可以給NEC代工,隻要讓NEC入股華虹即可。在現實的市場規律麵前,華虹不得不咽下了這枚苦果。
但要注意的是,當時內存生產量最大的國家,其實正是日本!這裏麵的貓膩,自然顯而易見。若非後來NEC自己玩死了自己,中國半導體產業的**華虹,說不好還真的要成了NEC的打工仔。
有的時候真的不能不感歎,我們的半導體產業,多少還是有些氣運的啊!我們失敗過,但終究還是挺過來了。隻要最後能夠重新站起來,那些失敗和教訓,就是我們通往成功的養料。