“北大路先生，你看我們的激光技術怎麽樣？這套準分子激光設備，是我們泛翰研究院自行研製的，能夠生成193nm波長的紫外激光。”趙大健陪著笑，將日本檢查團領進了實驗室。
一七三所前研究員江清月，正是在這個實驗室裏，進行著自己的工作。所謂準分子激光，並非是對激光本身屬性進行的描述，而是特指的發出激光物質為準分子。
準分子激光一般是由氙氣二聚體等惰性氣體或鹵素氣體，受到電子束激發形成的激光。光子能量波長範圍在157－353nm之間，由於激光是在氣體受到外來能量的激發，所引起的一係列物理及化學反應中，曾經形成但轉瞬即逝的分子發出的，所以被稱之為準分子激光。
這種激光的一個特點是壽命極短，隻有幾十毫微秒的時間。超過這個時間，發出激光的分子，就會迅速還原成原本的氣體狀態。其中193nm波長的激光，就是用來作為治療近視等眼部疾病使用的激光刀。同時，193nm的激光也是後世光刻機普遍使用的波長。
江清月在眾人進入的時候，正操作著一台氟氬氣體激發的準分子激光器，測試將激光光源進行多次聚焦之後再恢複成平行狀態。
城三太郎幾乎是看到的第一眼，心裏就大喊了一聲“八嘎雅路！”。從幾組透鏡的布置來看，泛翰集團顯然已經是在研究0.35微米工藝的光刻機了！光刻機的加工精度不同。使用的透鏡數量、種類和布置都有非常多的講究。
作為尼康光刻機項目的參與者，城三太郎對當前最先進的0.35微米工藝光刻機。透鏡的布置當然是了若指掌。他百分之百的肯定，泛翰集團目前已經摸到了這項技術的門路，實現技術突破恐怕隻是時間問題了！
“趙部長，你這是做什麽？”江清月看到一行人擠進了實驗室裏，皺著眉頭問道。
“小江啊，快來我給你介紹一下！”趙大健嗬嗬笑著，擺了擺手說道：“這是日本東芝來咱們泛翰研究院的考察團，給國際友人們匯報一下咱們的研究進度。說不定還能給你的項目指點一二呢。”
江清月疑惑的看了趙大健一眼，她在泛翰研究院隻是比較基層的研究員，級別是比不上趙大健的。但趙大健負責的是運營部，本身又管不到技術部的事情。她抬頭向外麵看去，卻見到笑扉扉站在門外微微的點了點頭，這才放下了心來。
“我們的試驗正在測試高密度石英材料製作的鏡頭，在經過多次反射折射之後。進行色差補償的方案……”
“色差補償！”城三太郎微微一愣，臉上的表情就有些僵硬了。如果說之前他還隻是懷疑，那麽聽到江清月的研究內容，就幾乎是坐實了泛翰集團在0.35微米工藝的技術上，肯定是取得了不小的突破。色差補償是光刻機研究領域，非常重要的內容。通過使色差最小化。能夠抑製由激光帶寬變動所引起的光學鄰近效應。比如局部光斑、入射角和熱象差、偏振狀態控製能力的保持。
這些技術難題，直接決定了反射鏡的數量與類型。這些鏡頭設計的細節，每一點改進都意味著距離成功更近了一步。
“我能看看你們的實驗記錄嗎？”城三太郎還是非常謹慎的提出了他的要求，中國人或許可以擺一個花架子來騙他，但絕對沒有辦法編出一套正確的實驗結果來。如果這種實驗記錄都能編出來。那更說明他們掌握了這項技術……
“小江，還不快把你們的實驗記錄拿出來。給城三太郎先生看看？”趙大健說著，還回過身來致歉道：“城三先生是東芝方麵的光刻技術專家，您稍微指點兩句，肯定會讓我們獲益良多。”
“哪裏，我想以中國人的智慧，一定可以取得讓我刮目相看的成績。”城三太郎見江清月取來了實驗記錄，也就不在意多客氣兩句了。在日本越是受教育程度高的人，對漢語閱讀就越流利，倒是不用擔心他會看不懂實驗記錄。
城三太郎打開實驗記錄，粗粗的掃了兩眼，不由得就是暗自心驚。各種光波在不同材質之中穿行，產生的變化都不相同。193nm的準分子激光，想要應用在光刻機上，就必須對鏡頭進行全新設計。在此之前就必須詳細的試驗新材料，全麵的了解鏡頭對激光產生的所有影響。
從實驗記錄的結果上麵來看，顯然泛翰集團已經對高密度石英，進行了全麵的激光測試。測試進度至少已經達到了80%的水平，要知道當全部測試完成之後，接下來要進行的就是鏡片設計工作了。進入這個階段，基本就可以看做是0.35微米工藝光刻機技術開發，進入到最後的步奏了。
“趙桑，這些數據都是你們自己的鏡頭，測試出來的結果嗎？”城三太郎頗為焦急的問道，他這樣的問題可以說是非常的不禮貌，但這個時候已經沒有心情去計較這種小事了。
能夠測試出完全正確的鏡頭數據，這說明中國人已經掌握了0.35微米光刻機所需的鏡頭加工技術。這對尼康來說，簡直就像是在鄉下小河溝裏，突然釣出來一條大白鯊一樣。
當今國際上，如果把芯片生產技術分成三個檔次。那麽1.2到0.8微米，可以算是上點檔次的三流技術，至於1.2微米以上、乃至2微米以上的技術，已經基本沒有存在的價值了。而0.5微米技術，可以算是二流技術，是當今世界上晶圓廠的主流水平。至於0.35微米工藝，就連尼康也不過才剛剛掌握而已。
這突然之間，在中國這種科技荒漠的國度裏，城三太郎竟然發現了世界一流的光學鏡片加工水平，豈不是太過於荒謬了嗎！
這點把戲說穿了，其實毫不奇怪。周碩穿越前的二十年後，高密度石英材料早就已經被研究個透了。雖然沒有各項鏡片的具體實驗數據，但其本身的各項特性卻根本不是秘密。從基礎數據進行反向推算，很容易就能得到理論上的實驗數據。當然這些數據在1995年的城三太郎看來，沒有經過試驗是絕對不可能得到的。
中國人什麽時候有這種水平了？這不科學啊！收起心中的驚訝，城三太郎表麵上平靜下來，假意搖頭道：“你們在沒有外部幫助的情況下，能夠做到這一步確實非常的不容易了。不過目前看來石英材料帶來的折射率，還是無法滿足技術需要的。在我們日本，更加傾向於使用鑥鋁柘榴石來製作鏡頭。它的2.1折射率，能夠極大的縮小線寬工藝。”
城三太郎這話說的也是半真半假，他當然不可能拿純粹的假話來糊弄。泛翰研究院能夠走到這個地步，沒有點技術功底是不可能的。但鑥鋁柘榴石本身卻極難加工，對激光的影響和石英材料也完全不同，如果泛翰研究院真的轉頭去研究這種材料，恐怕十年內都沒有希望獲得成果。
“真的？”趙大健臉色瞬間變得很壞，向江清月訓斥道：“小江你們激光實驗室是怎麽回事？即使不能追上國際先進水平，但追蹤國際水平也做不到嗎？你聽聽，人家日本已經在使用鑥鋁柘榴石來製作鏡頭了，你們還在做石英材料的試驗，這怎麽能夠滿足我們運營部的需求？”
“這……”江清月的臉色不由得難看起來，有些生氣的說道：“我們的技術路線不同，未必就不能繼續沿用石英材料鏡頭吧？何況現在研究院已經在這項實驗上投入了很大一筆資金，這時候再更改研究方向，集團哪裏拿得出來這筆錢？”
“這你怕什麽？集團很快就能得到一筆一億美元以上的訂單，到時候自然有資金繼續進行投入……”趙大健說了兩句，突然意識到當下的場合，連忙收住了嘴巴，冷冷的哼了一聲道：“這個問題上麵自有考慮，激光實驗室先把石英材料的試驗停下，做一做鑥鋁柘榴石的預研吧。”
一旁的日本翻譯，準確的將江清月的這句話翻譯了過去，這讓城三太郎眼前一亮。光刻機鏡頭的研發，是非常耗費金錢的。目前的亞微米階段，雖然比未來的納米時代要便宜的多，等閑也是要幾億美元扔進去，才能有點成果出來。一家中國企業，因為開發光刻機而耗光了資金，似乎並不是太過奇怪的事情。
想來泛翰集團依仗的，就是華晶那筆龐大的采購方案。如果國際上依然堅持對華技術禁運，那麽這筆上億美元的訂單，肯定就會落在他們的頭上，當然也就會度過這段資金緊張的時期。城三太郎突然想到：如果這個時候，原本不會下場的尼康，突然搶走了他們這筆生意……