第三百九十六章 投影曝光
如果沒有周碩的幹擾，從0.35微米工藝向0.25微米工藝過渡的光刻機，真實曆史上實際使用的是步進重複投影曝光技術。
在0.35微米工藝及之前，光刻機光學掩膜版的製作要求是非常高的。基本上和生產的芯片，是一對一全比例設計。
掩膜版投射的鏡頭需要與矽片進行完全的接觸，接觸中甚至要抽成真空狀態。然後光源係統的激光打到掩膜版上，投影部分的光刻膠就會被蒸發掉。把這樣的晶圓放到蝕刻機裏麵，化學藥品就會將沒有覆蓋光刻膠的部分腐蝕掉，然後再把晶圓轉移到離子注入機上進行離子注入……
把鏡頭和晶圓直接接觸，或者兩者之間隻有小縫隙的接近，這種光刻機被稱之為接觸、接近式曝光技術。因為使用這種技術的光刻機鏡頭要和晶圓進行完全的接觸，對掩膜版、鏡頭、晶圓和光刻膠都有非常高的要求。
這種設計自有其好的一麵，對鏡頭精度要求低，係統複雜度低，以及成像質量高之類的優點。但也有其致命的缺陷，0.35微米工藝基本上就是其經濟性的極限了。
0.25微米工藝光刻機想要延續接觸式曝光，整個係統需要的機械精密程度，掩膜版的成本、掩膜版和矽片的接觸緊密度，係統的集成難度都開始了幾何級數的增加。
於是在原本的曆史上，尼康也好、阿斯麥也好都選擇了另一條路，那就是非接觸式曝光。也就是投影式曝光技術。
這種技術說白了，就是好像平常用放大鏡聚集太陽光一樣。用棱鏡係統將光源從遠處投射到矽片上。這樣經過幾次聚焦、折射、再聚焦，最終投影到矽片上的圖形比掩膜版甚至可以小上4倍。
對於沉浸式光刻技術而言。投影式曝光技術最大的好處就是——避免了使用防水光刻膠的高成本。
其實說起來，周碩現在真的很想哈哈大笑一下，以發泄自己內心的暢快！
日本人費盡心思弄到了防水光刻膠的技術，原本他們這個技術至少是可以吃一代光刻機沒問題的。曆史上，早期沉浸式光刻機係統也是使用防水光刻膠的接近式光刻機，直到投影式光刻機成為主流防水光刻膠才退出了曆史舞台。
他現在拿出來的這份文件，自然就是投影式光刻機的技術專利，可以說這項技術一出防水光刻膠就是一個廢物了！
鶴田剛開始還不以為然，在他的心裏早就已經認為泛翰集團是砧板上的魚肉。哪裏還有什麽翻盤的機會？
這個年代裏，日本人不僅是驕傲的，而且也非常有驕傲的資本。整個九十年代，世界十大晶圓廠，日本人占了半數還多！
在鶴田和所有日本人看來，中國人能拿出沉浸式光刻技術純粹就是瞎貓碰死耗子，反正搞舉國體製不正是共產國際的強項嘛！
除了沉浸式光刻技術這種獨辟蹊徑的取巧之道，日本人絕不相信泛翰集團還能在其他方向產生突破，他們手裏的底牌也就是僅此而已。
然而事實證明。中國人比他們想象的要強大的多。這對鶴田來說，不啻是一個巨大的嘲諷。
以技術先進為傲的尼康，竟然會屢屢失敗在一個小小的中國企業麵前！這tm的不科學啊！
鶴田的臉色隨著他看完整個授權專利證書之後，就黑的好像一塊鍋底的黑炭了。任誰在看到自家花費巨資研發出來的技術。轉眼就被人給淘汰掉了，心裏肯定都會恨不得把對方給咬死。
可惜，鶴田注定是不敢咬死人的。
步進投影技術不僅能擺脫對防水光刻膠的依賴。更重要的是隻要稍作優化，立刻就又能把光刻機製程技術向前推進一個時代……
你們要不要這麽逆天？！
鶴田很想這麽呐喊一聲。如果讓泛翰集團這麽肆無忌憚的發展下去，說不定連摩爾定律都要被打破了。
從0.35微米工藝都沒普及的程度。直接跳到0.18微米，可以想象這會在市場上掀起怎樣的腥風血雨。
鶴田牙縫裏再敢蹦個“不”字，尼康就要被管殺不管埋了。
“周桑……這個文件是真的？”鶴田張了張嘴，腦袋裏一團亂麻，隻能問出這麽沒有營養的問題了。
他對重複投影式曝光技術並不陌生，如果說沉浸式光刻技術是左道旁門，那投影式曝光就是名門正道！光刻機提升性能的主要方法，大多都是通過增加光學係統精度實現的——而重複投影曝光技術，可以說是將這種思路延續到了極致！
“嗬嗬，是不是真的，尼康可以自己求證一下。”周碩無所謂的聳了聳肩，輕鬆的笑道。
鶴田背靠在椅子上，心知這種事情是不可能作假的。隻要他一個電話過去，用不了半個小時查詢結果就能出來，耍這種花招毫無意義。
即使如此，他仍然吩咐手下讓人去查詢相關的專利情況。一紙證書能夠體現的東西有限，專利注冊的時候需要提供很多技術思路，說不定也會有所收獲。不過那都是以後的事情了，現在周碩表現的來的實力，卻不允許他再肆無忌憚的打壓下去。
“好吧，周桑。”鶴田呼出一口氣，這種勝利即將到手卻被人絕地翻盤的感覺，實在是太傷士氣了。他強打精神抬起頭來，看向周碩說道：“既然情況出現了變化，尼康可以重新考慮原來的要求。違約金、退股和遷移生產線這些問題，咱們都可以好好談一談……”
“談什麽？”周碩抱著胸，笑吟吟的問道。
“呃，談談你手裏的技術。”鶴田老臉一紅，這樣的轉變未免太過生硬了一些，不過這時候卻也顧不得了：“說實話為了實現利潤最大化，現在就公布投影步進式光刻技術並不是一個好主意。要我說大可當做儲備技術，等我們在沉浸式光刻機上麵賺到滿意之後，再放出這項技術來。”
“怎麽，尼康現在不想把我掃地出門了？”周碩低頭摳著手指甲，心不在焉的問道。
“哈哈，尼康怎麽會有這種打算！”鶴田大笑了一聲，掩飾他臉上的尷尬，晃著撥浪鼓似的腦袋說道：“泛翰集團是尼康最重要的合作夥伴，我們絕不會做出這種……嗯，卸磨殺驢的事情。”
他自認為用了一個中國成語還是很值得高興的事情，自得的笑著笑著卻再也笑不下去了，因為對麵的周碩臉上始終都是冷冰冰的一片。
“鶴田桑敢做不敢認，這就太沒有男子漢氣概了。”周碩淡淡的說道：“既然尼康不想收購我手裏的股份了，那咱們就談談你們手裏那51%的股份吧。”
“納尼？”鶴田坐直了身體，眼光猛的正經了起來：“周桑這話是什麽意思，51%已經是尼康持股的底線了，這個條件是不容討論的問題！”
“這麽說吧——”周碩輕輕的吹了吹用指甲刀磨好的指甲，漸漸收斂起笑臉道：“破產和出售光刻機子公司，尼康選擇哪個？”
“周桑這話是什麽意思？”鶴田的臉上難得出現了一絲慌亂，強笑道：“你知不知道尼康是什麽公司，豈是能說破產就破產的？”
周碩哦了一聲，挑了挑眉說道：“那是我說錯話了，尼康每月五個億的違約金都能支付的起？”
“五個億？”鶴田嚇了一跳，驚恐的看著周碩，矢口否認道：“什麽五個億，我們尼康哪裏需要支付五個億的違約金？”
鶴田怎麽會不知道周碩說的是什麽，正是因為他知道，所以才心中驚恐萬分。尼康和intel簽署的合約不說是絕對機密，但也不是誰想知道都能知道的。雖然對這次合同提出了這麽高的違約金感到奇怪，但因為徹底掌握了光刻機市場，尼康並沒有太過在意。
一個月五億美元的違約金確實是高，但intel也要有這個膽量來收。
在阿斯麥已經推出競爭的今天，整個光刻機高端市場都落入了尼康的手裏，尼康光刻機就是皇帝的女兒——不愁嫁。在這種合作關係下，合同就是一張紙，intel又怎麽敢真的去收尼康的違約金？
就好像移動吞了用戶的月剩餘流量，絕大多數移動網絡用戶都不會說這不合理，即使不合理也要有這個本錢去和壟斷資本談判啊！
intel如今是求著尼康供貨，而不是尼康求著intel。這五個億美元的違約金好拿不好用，除非intel以後再也不升級光刻機工藝水平，否則怎麽敢這麽得罪尼康？
“嗬嗬，看來鶴田桑真是貴人多忘事。”周碩不以為意的聳了聳肩，露出一口潔白的牙齒笑道：“您可以想想看，如果阿斯麥得到了重複投影曝光技術，intel是否還會這樣有耐心的等待下去？”
周碩這話說完，突然對麵噗通一聲。鶴田在眾目睽睽之下，竟然從凳子上滑了下去！